Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika

Abstract

Dalam penelitian ini, film tipis material feroelektrik Barium Zirkonium Titanat (BaZr0,5Ti0,5O3) disintesis dan pengaruh variasi suhu kalsinasi terhadap sifat optiknya dipelajari. Film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 ditumbuhkan menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) di atas substrat Silikon, Si (100). Film tipis yang telah dibuat kemudian dikalsinasi pada tiga suhu berbeda yaitu 750, 800 dan 850 oC. Sifat optik dari film tipis yang telah dibuat diukur menggunakan Spektrometer Ultraviolet-Visible (UV-Vis) Ocean Optics USB4000. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 yang dibuat memiliki reflektansi yang tinggi pada cahaya tampak dan nilai koefisien absorbansi yang tinggi pada cahaya ultraviolet (UV). Nilai bandgap pada masing-masing film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 dengan suhu kalsinasi 750, 800 dan 850 oC adalah 3,04 eV, 3,07 eV dan 3,22 eV. Semakin tinggi suhu kalsinasi maka semakin tinggi nilai bandgap yang dihasilkan. Dari hasil tersebut, film tipis BaZr0,5Ti0,5O3 ini dapat diklasifikasi sebagai semikonduktor dan berpotensi digunakan sebagai sensor atau komponen elektronik yang bekerja memanfaatkan energi pada panjang gelombang cahaya ultraviolet.